电子束镀膜设备

1、型　 号：DE4002、膜层特点：各种高熔点金属和非金属薄膜的蒸镀；各种多层膜，包括光学膜、介质膜和电极膜的蒸镀。3、主要配置：载片：直径小于100mm的各种基片电子枪功率：3 kW，5 kV极限真空：5 ×10-5 Pa基片最高温度：250 ℃坩埚溶积：4 cm3薄膜均匀度： ＜5%

• 科研项目： 工业机器人