扫描电子显微镜

1、分辨率： 1.0nm（加速电压15kV、WD＝4mm）2、加速电压：0.1～30kV3、观测倍率 ：20～8000,000(底片输出)，60～2,000,000（显示器输出）4、样品台：马达驱动 3轴马达5、行程：X0～50mm，Y 0～50mm，Z 360°，T -5～70°，R 1.5～30mm6、最大装载尺寸：150mm7、探头：高分辨SE、BSE图像

• 科研项目： 机器人机构学